Nanoindenter ZHN: Neue Prüfmöglichkeit für dünne Schichten

Der Trend zur Miniaturisierung von Bauteilen erfordert auch entsprechende Methoden zur Bestimmung der mechanischen Belastbarkeit dünner Schichten. Dazu gehören unter anderem Haftfestigkeit und Verschleiß. Mit dem Nanoindenter von Zwick sind Charakterisierungen von Schichten mit nur wenigen μm Dicke möglich.
ZHN Nanoindenter fr Prfungen an dnnen Schichten2

Die Untersuchung der mechanischen Eigenschaften dünner Schichten war bislang zeitaufwändig und kostenintensiv. Das Unternehmen Zwick bietet jetzt mit dem Nanoindenter ZHN eine und neue und sehr effiziente Lösung an. Er ist speziell auf die Prüfung von Haftfestigkeit und Verschleiß der Schichten zugeschnitten und deckt aufgrund seines modularen Aufbaus einen breiten Anwendungsbereich ab. Die Prüfungen mit Kräften bis 2 N und Endringtiefen kleiner 0,2 µm folgen der Norm ISO 14557-1.

Herausragend an dieser Entwicklung ist, dass zwei Messköpfe in beliebiger Weise miteinander kombiniert werden können. Mit dem Normal-Messkopf arbeitet das Gerät wie ein tiefenempfindlicher Härtetester im Mikrobereich. Der zweite Lateral-Messkopf, ebenfalls mit einer Auflösung im Nanometerbereich, ermöglicht dynamische Messverfahren auch in lateraler Richtung. Durch diese Kombination erhöht sich die Zahl der möglichen Messmethoden deutlich. Das Gerät wird als Mikro-Scratchtester, Mikro-Verschleißtester, Ermüdungstester oder als hochauflösendes Profilometer eingesetzt.

Da Krafterzeugung und -messung unabhängig voneinander erfolgen, sind sowohl Kraft- als auch Wegsteuerung möglich. Außerdem können dadurch externe Einwirkungen wie Adhäsionskräfte nachgewiesen werden. Weitere Vorteile sind die exzellente Optik mit hoher Positioniergenauigkeit und Schnelligkeit der Messung, da aufgrund von zwei Kameras für zwei Vergrößerungen kein Objektivwechsel nötig ist. Unterstützt wird der Anwender durch die intuitiv zu bedienende Software InspectorX: Sie bietet individuelle Benutzerrechte, eine einfache Positionierung sowie spezielle Algorithmen zur Bestimmung von Indenter-Flächenfunktion und Gerätesteifigkeit.


Top